看完本文，了解賽默飛掃描電鏡的結(jié)構(gòu)組成
賽默飛掃描電鏡是一種新型的電子光學(xué)儀器，被廣泛地應(yīng)用于化學(xué)、生物、醫(yī)學(xué)、冶金、材料、半導(dǎo)體制造、微電路檢查等各個研究領(lǐng)域和工業(yè)部門。制樣簡單、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像的分辨率高、景深大、保真度高、有真實的三維效應(yīng)等，對于導(dǎo)電材料，可直接放入樣品室進行分析，對于導(dǎo)電性差或絕緣的樣品則需要噴鍍導(dǎo)電層。賽默飛掃描電鏡的結(jié)構(gòu)組成：1、電子光學(xué)系統(tǒng)電子光學(xué)系統(tǒng)包括電子槍、電磁透鏡、掃描線圈、樣品室等，主要用于產(chǎn)生一束能量分布極窄的、電子能量確定的電子束用以掃描成象。2、信號探測處理和顯...
